半導(dǎo)體工業(yè)是能源、水、化學(xué)品和原材料的資源密集型產(chǎn)業(yè),從硅片制造、芯片設(shè)計(jì)、晶圓制造再到封裝測試,制造工藝繁多,其中,不少制造工序?qū)τ秒娏慷加芯薮蟮男枨蟆?/div>
比如,制造過程中的擴(kuò)散爐、離子注入機(jī)和等離子蝕刻機(jī)都需要相當(dāng)大的功率,有些需要非常高的溫度,這些都需要耗費(fèi)巨大的電量。
根據(jù)臺(tái)積電發(fā)表的《臺(tái)積公司2020年度氣候相關(guān)財(cái)務(wù)揭露報(bào)告》,2020年,臺(tái)積電的用電量為169億度,超過整個(gè)臺(tái)北市的用電量。
不只耗電量大,半導(dǎo)體的用水量也相當(dāng)驚人。
在芯片生產(chǎn)的過程中有一個(gè)非常重要的步驟,需要利用純水對芯片上的雜質(zhì)進(jìn)行沖洗。純水從哪兒來?從淡水凈化而來,因此就需要消耗大量的水資源,而越是先進(jìn)制程工藝的芯片,所需要消耗的水資源就越多。以一座大型半導(dǎo)體Fab為例,日均耗水量可達(dá)數(shù)千噸。
巨量的水、電之外,半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過程中還會(huì)排放廢棄物,有些甚至有害。
據(jù)外媒4月1日的報(bào)道,因比利時(shí)政府的嚴(yán)格的環(huán)保政策影響,3M位于比利時(shí)佛蘭德斯的茲韋恩德雷赫特工廠被“無限期關(guān)閉”,而該廠所生產(chǎn)的半導(dǎo)體冷卻劑占據(jù)了全球80%的產(chǎn)能。
什么是半導(dǎo)體冷卻劑?這是一種應(yīng)用于電子行業(yè)的氟化液,即電子級氟化液。它不僅可以幫助芯片制造過程中精確控制溫度,同時(shí)還可以對相關(guān)的半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)行恒溫冷卻,保障穩(wěn)定運(yùn)行。
然而氟化液及其生產(chǎn)排放的全氟/多氟烷基物質(zhì)對于生物體來說,具有潛在的生物累積性,在人體內(nèi)累積久后可能導(dǎo)致激素紊亂,這也是這次被“無限期關(guān)閉”的重要原因。
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